| | |85(75)| | |400(350|

| | | | | |) |

P.S. Размеры без скобок обозначает длину сварного соединения, а в

скобках - ширину сварного соединения.

В зависимости от материала вывода и контактной площадки используют

термокомпрессионную сварку (ТКС), сварку косвенным импульсным нагревом

(СКИН), электроконтактную одностороннюю сварку (ЭКОС) сдвоенным

инструментом и ультразвуковую сварку (УЗС). Определяющей тенденцией

развития методов микросварки от ТКС до УЗС является локализация зоны

нагрева, что уменьшает тепловое воздействие на изделие в целом и повышает

воспроизводимость параметров сварного соединения.

Таблица 2

[pic]

Термокомпрессионная сварка.

При термокомпрессионной сварке соединение образуется в твердой фазе в

результате нагрева и сжатия соединяемых поверхностей. Пластическая

деформация, возникающая в зоне контакта , способствует вытеснению

адсорбированных газов и остаточных загрязнений с контактных поверхностей,

становится возможным электронное взаимодействие соединяемых материалов,

т.е. образование межатомных связей. Получению прочного соединения

способствует также ограниченная взаимная диффузия материалов и образования

твердых растворов в тонкой приграничной области.

Режим термокомпрессионной сварки характеризуется следующими

параметрами:

1) Температурой нагрева, обычно равной температуре обжига более

пластичного из свариваемых материалов. Температура нагрева не должна

превышать температуры эвтектики этих материалов во избежание образования

жидкой фазы. Для большинства практических случаев температура в зоне сварки

лежит в пределах 300-400(С;

2) Давлением инструмента, которое должно обеспечивать деформацию

проволоки после ее нагрева в пределах 25-75%. При этом прочность соединения

должна составлять не менее 40-50% прочности проволоки на разрыв в исходном

состоянии;

3) Временным воздействиям температуры и давления, необходимым для

завершения процесса "схватывания" материала.

Предпосылками для получения качественного сварного соединения методом

термокомпрессионной сварки являются: высокая пластичность проволоки, а

также высокая взаимная диффузия в твердой фазе свариваемых материалов. В

соответствии с этим предпочтительными материалами для выводов являются

золото и алюминий. При сварке Au и Al в результате взаимной диффузии и

нагрева возможно образование интерметаллических соединений (AuAl2, Au2Al?

AuAl и др.) некоторые из них хрупкие и рыхлые, что снижает прочность

соединений.

Процесс термокомпрессионной сварки реализуется рядом

автоматизированных установок, например ЭМ-490Б. В этом автомате подача

приборов, определение положения кристалла и присоединение проволочных

выводов производится автоматически. Двухкоординатный стол и сварочная

головка с приводом от шаговых электродвигателей обеспечивает высокую

производительность установки (14000оп./час). Специальный блок распознавания

с телевизионным датчиком на базе видеокна, обладающий малыми

геометрическими размерами и высокой стабильностью работы, определяют

положение кристалла ИС с высокой точностью. Оптическая система обеспечивает

быструю смену увеличения линз 1, 2 и 4.

К недостаткам термокомпрессии следует отнести ограниченное количество

сочетаний соединяемых материалов, жесткие требования к подложкам, которые

должны быть изготовлены из материалов, обладающих малой чувствительностью к

термическому удару и хорошей адгезией с напыленными пленками, и

ограниченные геометрические размеры соединяемых элементов. Процесс

черезвычайно чувствителен к загрязнениям поверхности, окисным пленкам,

внешним условиям; и требует подбора режима термокомпрессии.

Сварка с косвенным импульсным нагревом.

Этот вид микросварки отличается от компрессионной тем, что разогрев

рабочей зоны осуществляется только в момент сварки импульсом тока,

проходящего непосредственно через инструмент, после приложения давления.

Специальная V-образная конструкция инструмента дает возможность

сосредоточить выделяющуюся теплоту, передаваемую соединяемым элементам, на

его торцевой (рабочей) части. Сопротивление деформации при этом падает под

действием приложенного давления, происходит осадка металлического

проводника и образование соединения.

Локализация нагрева в зоне соединения существенно уменьшает тепловые

воздействия на изделия в целом и позволяет сваривать менее пластичные

материалы. В то же время во избежание теплового удара на подложку в зону

сварки часто требуется небольшой общий подогрев изделия, т.е. нагрев

рабочего столика.

В отличие от термокомпрессии, процесс взаимной диффузии при сварке с

косвенным импульсным нагревом играет более существенную роль в обеспечении

прочности соединения.

Основными параметрами процесса являются давление и температура нагрева

инструмента, а также длительность импульса нагрева. При сварке на

ситалловых подложках ориентировочные параметры сварки следующие :

Таблица 3

|Материал |Материал |Давление |Температ. |Длитель- |Степень |

|контактной |вывода и |инструмен- |инструм. |ность |деформац. |

|площадки |dПР , мкм |та | |импульса | |

|Au, Al, Cu, |Au,24-80 |80-140 |300-550 |0.1-0.5 |50-60 |

| | | | | | |

|Ni | | | | | |

|Au, Al |Al, |30-80 |350-550 |0.1-0.5 |60-70 |

| |30-100 | | | | |

|Au, Cu, Ni |Cu, |150-200 |400-650 |0.1-1.0 |55-65 |

| |30-80 | | | | |

Для точного дозирования энергии проводимой в зону сварки и уменьшения

инертности процесса, используют амплитудно-модулированный импульс тока с

несущей частотой от 0.5 до 1.5 кГц. Устройство автоматической стабилизации

обеспечивает точность температуры торца инструмента в пределах ( (2-5)(С.

Инерционность процесса определяется охлаждением торца инструмента до

исходной температуры, которая влияет на длительность интервала между

последовательными циклами сварки. Для соединения внахлест применяют круглый

V-образный инструмент с конусной частью. Средний диаметр торца составляет

0.2 мм т.е. (2-3)dПР. Такая форма позволяет выполнить сварные соединения с

интервалом до 1с. Плоский V-образный инструмент толщиной 0.2 мм с

дополнительными медными теплоотводами уменьшает интервал до 0.5с.

Инструмент изготавливают из ниобиевых теплостойких сплавов (стойкость

до 6000 сварных точек) или из твердых сплавов (до 40000 сварных точек).

Сварка сдвоенным электродом является разновидностью контактной сварки,

приспособленной к особенностям соединений в микросхемах. Эти особенности

предопределяют одностороннее расположение выводов (электродов) и

объединение их в жесткую конструкцию с электроизоляционной прослойкой. В

зависимости от диаметра проволоки для перемычки (30-150 мкм) длина торца

каждого, составляет 20-100 мкм, ширина 80-600 мкм, толщина прокладки 30-220

мкм. Материалом электродов могут быть вольфрам, молибден и др. Материалы

прокладок - слюда, синтетический корунд и др. Относительно большие размеры

инструмента позволяют сваривать перемычки диаметром до 250 мкм, но требуют

при этом соответствующего увеличения контактных площадок.

В процессе сварки перемычка на участке под инструментом является

составной частью электрической цепи. Место соединения разогревается за счет

тока и выделения теплоты в месте контакта "перемычка-электрод".

Воспроизводимость качества соединения существенно зависит от

повторяемости значений электрического сопротивления в месте контакта.

Поэтому сварочные установки предусматривают автоматическое регулирование

усилия сжатия (3-10 Н) по заданному контактному сопротивлению. Кроме того,

целесообразно импульсное воздействие давления: давление включается в момент

нагрева почти до максимальной температуры и снижается перед выключением

нагревающего импульса тока (600-1000 Гц) и модуляция тока по амплитуде

позволяет обеспечить предварительный постепенный прогрев зоны сварки в

начале цикла, что исключает тепловой удар на контактную площадку и отжиг

материала в сварной точке в конце цикла.

В зависимости от режимов сварки (длительности, мощности и скважности

импульсов, а также приложенного давления) могут иметь место следующие

механизмы соединения :

1) Соединения в твердой фазе в результате рекристаллизации соединяемых

материалов и прорастания зерен через поверхность раздела;

2) Соединение ниже температуры рекристаллизации за счет электронного

взаимодействия и межатомного сцепления;

3) Соединение в жидкой фазе в результате расплавления при температуре

выше эвтектической.

При ультразвуковой сварке соединение металлов в твердой фазе

осуществляется путем возбуждения в них упругих колебаний ультразвуковой

частоты с одновременным приложением давления. Перед включением УЗ колебаний

под действием статически приложенной нагрузки на инструмент, из-за

деформации проводника создается некоторая первоначальная площадь

контактирования на границе раздела инструмент-проволока и проволока-

кристалл.

После включения УЗК в результате активирующего действия ультразвука,

снижающего предел текучести алюминия, облегчается пластическая деформация

проводника и идет интенсивная осадка его.

Таким образом, УЗК при сварке прежде всего создают условия для

быстрого деформирования физического контакта, одновременно с этим

происходит активация контактных поверхностей, приводящая к образованию

очагов взаимодействия в условиях пластической деформации Al и упругой

деформации Si. При осадке алюминиевого проводника окисная пленка на нем

растрескивается и в зону контакта выходит чистый алюминий, растекание

которого на поверхности кристалла способствует удалению из зоны сварки

загрязнений и осколков окисных пленок.

В промышленности широко применяются автоматизированные установки для

присоединения по заданной программе проволочных алюминиевых выводов к КП

кристалла : ЭМ-4020В, ОЗУМ-12 и т.д.

В отдельных случаях находят применение методы сварки такие как :

лазерным и электронным лучом. Преимущества этих способов в чистоте

процесса, Возможности выполнения соединения через любую прозрачную среду.

Однако эти способы имеют и недостатки : некоторая комбинация металлов

вследствии быстрого нагрева и охлаждения в точке соединения становятся

хрупкими, а тепловой режим зависит от отражательной способности соединяемых

материалов. Способы требуют точного регулирования количества энергии,

длительности импульса, пиковой мощности, формы и воспроизводимости

импульсов.

2.1.2. Технология сборки методом

перевернутого кристалла [ flip-chip].

[pic]

рис 3

1 - сформированный шарик из припоя 5%Sn-0.5%Pb

2 - слой фазового состава Cr+Cu

3 - стекло

4 - первоначально осажденный припой

5 - интерметаллическое соединение

6 - Cr

7 - Al

Процесс начинается с последовательного напыления Cr, Cu, AlAu через

металлическую маску на все алюминиевые контактные площадки на пластине.

Контактные площадки могут быть расположены в любой области на поверхности

кристалла с некоторыми ограничениями. Золото предохраняет тонкопленочную

структуру от окисления до нанесения на покрытие Cr-Cu-Au последующих слоев

Pb-Sn. Пленку Pb-Sn осаждают на большой площади по сравнению с площадью,

занимаемой контактными площадками с покрытием Cr-Cu-Au. Площадь и

толщина этой осажденной пленки определяют окончательные размеры шарика.

Структура полученного шарика показана на рис.3.

Страницы: 1, 2, 3, 4, 5