3) продуть систему азотом, выполняя переходы п.п. 6.1.

2.3 Произвести измерения толщины окисла в соответствии с требованиями

17.25202.00004 в трех точках пластины-спутник. Толщина окисла должна

соответствовать норме, заданной в таблице 2.

2.4 Заполнить сопроводительный лист и рабочий журнал.

2.5 Годные пластины передать на следующую операцию.

Табл. 1.

|Наименование оборудования |Обозначение |Обозначение |

| | |документа |

|Система диффузионная многотрубчатая |ДЕМ1 055 009 |17.25001.00006 |

|СДОМ 3Л00 | | |

|Система автоматизированная |ДЕМ1 055 001 |17.25001.00042 |

|диффузионная АДС6-100 | | |

Табл. 2.

|Температура |Номер |Время, мин.|Наименование |Шифр |Расход газов л/час |Толщина |

|рабочей зоны |интервал| |временного |команд | |окисла, А |

|печи С0, (1 |а | |интервала | |О2 (30 N2 ( 30 | |

| | | | | |HCl* | |

| |1 |12(1 |Загрузка |9,13 |270 |- |- | |

| |2 |10(1 |Рабочий режим |9 |270 |- |- | |

| |3 |0.3(0.5 |Сигнализация |9,12 |270 |- |- | |

| |4 |90(40 |Рабочий режим |9 |270 |- |10-15 | |

|1000 |5 |0.3(0.5 |Сигнализация |9,12 |270 |- |10-15 |800(1100 А|

| |6 |10(90 |Рабочий режим |6 |- |300 |- | |

| |7 |12(1 |Выгрузка |6,14 |- |300 |- | |

| |8 |0.3(0.5 |Сигнализация |6,12 |- |300 |- | |

| |9 |Между |Продувка |9 |270 |- |- | |

| | |процессами | | | | | | |

ОПЕРАЦИЯ УДАЛЕНИЕ ФОТОРЕЗИСТА В СМЕСИ КАРО

Оборудование.

. установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212

. нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173

. кассета (07-0518

. тара межоперационная ЩИТ - 725

. пинцет (09-1114

. держатель (03-0767

. стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73

. нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73

. термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90

. пластина со структурами 17.10201.00024

. водорода перекись 17.10201.00022

. кислота серная 17.10201.00024

. вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02

. спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87

. перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88

. салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01

. салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02

Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок

фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в

серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси

Каро).

Требования безопасности.

1.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:

1) химические ожоги;

2) отравления;

3) электроопасность;

4) термоопасность;

5) порезы.

1.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись

водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм

человека.

1.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с

незащищенной электропроводкой и заземлением.

1.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и

перекиси водорода и подогретая деионизованная вода.

1.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со

сколами и трещинами.

1.6 Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования

изложенные в ТВО 045 039 ТИ.

1.6.1 Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на установке

проводить только при закрытых шторках, в резиновых перчатках одноразового

использования, в нарукавниках и фартуке.

1.6.2 На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся денной

операции, наличие органических веществ и других реактивов, не

предусмотренных картой, так как перекись водорода является сильным

окислителем.

1.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей

оборудования и горячих растворов.

1.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при

использовании оснастки из стекла.

В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а

мелкие влажной и выбросить в урну.

1.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить

технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления,

поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.

Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

2.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего

места и участка соответствует 17.25101.00002.

2.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической

обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе

наладчиком.

Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.

2.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые

нарукавники и резиновые перчатки.

Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.

2.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из

мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.

На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение

операции и наименование используемого раствора.

2.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки

деионизированной водой из шланга.

2.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что

вода полностью удалена из ванн.

2.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен

составлять (4(1) л/мин на одну установку.

2.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих

ваннах установки.

2.8.1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода, открыв кран на

передней панели установки с надписью перекись водорода на 1-2 с. Закрыть

кран.

2.8.2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на передней

панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки

ванны. Закрыть кран.

2.8.3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран на

передней панели установки с надписью перекись водорода, до нижней отметки

на стенке ванны. Закрыть кран.

2.8.4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на передней

панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки

ванны. Закрыть кран.

2.8.5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью стеклянной палочки.

Закрыть ванны крышками.

2.8.6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей ванне (с

серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со смесью Каро) 3

минуты.

2.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.

2.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в

промежуточной ванне. Она должна быть (65(5)0С.

Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу

остановить, сообщить неполадку.

2.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции.

Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены

для данной операции и что проведены предыдущие операции.

2.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение

обеспечивается имеющимися средствами измерения.

Технологический процесс.

3.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата

НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны

загореться сигнальные лампочки.

3.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне)

до температуры (150(10)0С.

При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка

регулятора температуры.

3.3 Открыть крышки ванн.

3.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты

и смеси Каро соответствуют заданной.

В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину,

превышающую 100С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.

Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200С.

3.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной

кислотой.

Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной

реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы

пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.

3.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.

3.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при

загорании красной сигнальной лампочки.

В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.

При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после

обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня

верхней отметки на стенке ванны.

3.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью

Каро.

3.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.

3.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при

загорании красной сигнальной лампочки.

В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.

После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро

(200(50) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки

каждых 50 пластин.

3.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.

3.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.

3.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2

минут.

3.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну

каскадной промывки.

3.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй

ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада

выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Мом(см по прибору

контроля сопротивления деионизованной воды.

3.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 ТАК КАК

по окончании отмывки пластин.

3.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию,

заполнив сопроводительный лист.

3.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока

управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение.

3.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и

предварительно охладив их до (80-50) 0С.

Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода.

3.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели,

деионизованной водой из шланга.

3.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками.

3.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама.

3.23 Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн

установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно

обрабатывать по две кассеты с пластинами.

КОНТРОЛЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛА

Оборудование

. система измерительная Н2001 (“Интеграл”);

. зонд измерительный ОМ6010;

Алгоритм программы разбраковки

Алгоритм программы разбраковки кристаллов 564ИЕ10 приведен в табл. 4.

Рис.3.

[pic]

Табл. 3.

|наименование элементов |условное|тип |материал слоя |сопротивле|толщина |

|структуры |обозначе|пр-ти | |ние |слоя, |

| |ние | |наименование |слоя |глубина |

| | | |ГОСТ, ОСТ, ТУ |(s=Ом/( |диффузии |

| | | | | |мкм |

Страницы: 1, 2, 3